干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。白光干涉仪的主要功能：观察分析应用特点：非接触式测量：避免物件受损。三维表面测量：表面高度测量范围为 nm ---μm。多重视野镜片：方便物镜的快速切换。纳米级分辨率：垂直分辨率可以达.nm。高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。扫描仪：闭环控制系统。工作台：气动装置抗震抗压。测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。应用领域：半导体晶片液晶产品（CS,LGP,BIU）微机电系统光纤产品数据存储盘（HDD,DVD,CD）材料研究精密加工表面生物医学工程。
仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动时，应托住底座，以防导轨变形。光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。
干涉仪的主要故障及检修编辑，干涉环不圆正。原因：分光板膜层面反向。两组出射光瞳错位。分光板、补偿板、移动镜及参考镜有压应力。
检修方法：分光板膜层应是入射光的第二面，如装在第一面，则调出的等倾干圆涉环是直的椭圆形干涉环，可旋松分光板的三只宽头螺钉，取出分光板，反过180°重新装入金属框内，把三只宽头螺钉旋到原来的压紧力。分光板调整请参考故障检修方法。分光板，补偿板的宽头螺钉，移动镜及参考镜的调节滚花螺钉压紧 力过大，使各镜片逐步变形产生等倾干涉圆环不规则，适当放松过紧的，螺钉即可消除。
